显微镜和显微技术
扫描电子显微镜中的微x射线荧光分析免费网络研讨会
2013.02
新QUANTAX Micro-XRF与XTrace微点x射线源,可以使用微x射线荧光(Micro-XRF)技术对SEM进行微量元素分析。XTrace连接到任何合适的扫描电镜的倾斜端口,并在样品上产生35 μ m高强度x射线点,与扫描电镜电子束完美对齐。因此,分析人员可以在电子和x射线激发下研究相同的样品位置,提供对样品性质的额外有价值的见解。QUANTAX Micro-XRF使用安装在电子束诱导能量色散x射线分析(EDS)上的探测器和信号处理链来获取和处理光谱。
XRF分析在中重元素激发范围内具有优势,检测极限比EDS提高20 ~ 50倍。将此与EDS更好的光元素灵敏度结合在一起,这允许使用组合XRF和EDS量化的最佳精度的成分分析。news ESPRIT 2.0分析软件包支持组合量化,在单一用户界面下控制QUANTAX EDS和QUANTAX Micro-XRF。
与EDS相比,Micro-XRF的另一个好处是在高空间分辨率下增加了信息深度。这在分析分层样品时很有意义,因为由于穿透深度有限,电子束激发只能看到最顶层。例如,印刷电路板的内层结构可以用micro - xrf显示出来。
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