• 新的IG-5C剖离离子枪

色谱法

新的IG-5C剖离离子枪

2009年3月2日

HIDEN分析已经引入了新的Ig-5c剖宫手枪,用于在SIMS测量电负性元件和剖腹簇分析中用于原代离子束应用。具有独特的低功率,高光泽离子源,紧凑型离子柱和梁转向模块,枪支被证明适合动态,静态和成像模拟模拟。


从表面电离源产生的强烈的铯离子束高度焦点,并产生可调节至仅20微米的斑点尺寸。离子源组件是紧凑的,自我对准的,易于更换。梁能量从5keV到0.5keV,梁电流到150NA。安装法兰是2.75英寸/70mm直径的汇合型法兰,并将设备差异泵送以保持真实的UHV压力。


对IG-5C的控制是通过基于PC的接口进行的,可以简化且可重现的设置。该界面控制电极参数和
离子源的热管理,并为高电流和小点应用提供配置选项。光束栅格
可以以64微秒的最小扫描时间和+/- 4mm的光束挠度进行外部驱动。内部预设栅格
还提供表面制备处理。与Hiden Maxim或EQS SIMS检测器直接耦合可以从总扫描表面内的任何预定义区域获取数据和表面成像。