用于等离子体诊断的先进Langmuir探针

的希登ESPion系列是螺栓等离子体过程分析仪，设计用于快速响应，高灵敏度的等离子体参数分析。

配备了间谍软件，隐藏的多层次软件包，提供简单的控制ESPion系统提供与血浆稳定性和再现性有关的直接信息。该软件的特点是自动实时外推等离子体参数，提供等离子体特性的详细信息。计算了广泛的等离子体参数，包括等离子体势、漂浮势、电子温度、电子能量分布、离子密度和离子通量。测量可以与外部等离子电源同步，用于脉冲等离子体研究中的时间分辨测量，如HiPIMS。

ESPion系统提供了一系列标准采样选项，以适应广泛的等离子体应用，包括ECR, HiPIMS，磁控管放电，螺旋源，直流辉光放电，脉冲等离子体和激光烧蚀。探头提供了Hiden的创新多电感链宽带射频阻断。对于高温应用，探头具有整体气体冷却功能。软件自动自清洁循环，以限制探针尖端污染。可选升级包括，灵活和铰接探头以及全自动z驱动器空间分辨率测量。对于脉冲沉积过程，时间分辨率的测量提供了50 ns的时间分辨率。

ESPion系列旨在提供功能齐全、灵活和强大的解决方案，用于等离子体分析的各个方面的参数监测，以进行特征和均匀性测量。

下载ESPion手册．