打码+——全面延伸到20 000年sccm流动

可信Axetris +范围的质量流量仪表和控制器现在可以使用流控制高达20 000年sccm。

Axetris很高兴宣布进一步扩展其打码+范围的质量流量仪表和控制器。产品可以用氮气、空气或氩校准全面二十slpm以内的流动。

他们提供了一个无与伦比的动态范围比2500:1更好。新的创新Axetris允许您使用一个质量流装置在一个广泛的流率,帮助你节省成本,而设计和物流的复杂性。加上范围的质量流量设备有惊人的紧凑尺寸,使紧凑设计。

您的应用程序

•分析仪器

•泄漏测试

•薄膜涂层

我们的优势

•无与伦比的动态范围

•优秀的可重复性

•迷你大小

•为oem设计

技术规格

典型值*

流量范围:0 - 20 000年sccm¹

流精度:F.S.±0.2%²/±1%那儿³哪个更大

可重复性:F.S.±0.015%²/±0.15%那儿³哪个更大

解析:0.01% F.S.²

尺寸:50 x 22 x 52毫米(OEM质量流量控制器)

*具体细节,请咨询产品数据表

¹sccm =标准立方厘米/分钟

²全面

³阅读的

的F.S.> 15 ' 000 sccm指定精度+ / - 2.5%业主/业主指定的重复性是+ / - 0.2%

标准与N2 F.S.校准,马克斯。F.S.可用与其他气体,请联系Axetris。

关于Axetris质量流量仪表和控制器

Axetris提供OEM质量流量计(MFM)和控制器(MFC)向客户提供卓越的价值。自营,以铂为基础的MEMS芯片技术保证良好的精度和可重复性结合高速度和动态范围。Axetris质量流技术许多领域的领先企业使用气相色谱法,泄漏测试、热分析、质谱分析、薄膜沉积、等离子体工程等等。