微流体流量传感器元件

微传感器解决方案的领先供应商，SensirionAG宣布第三代基于mems的液体流量传感器用于微流体系统。新的传感器扩展了该公司现有的液体流量产品系列。

低成本的OEM组件旨在集成到分析仪器、医疗设备和生命科学应用中。高水平的芯片集成使得成本、尺寸和重量显著降低。第三代MEMS传感器的主要特点是将传感器元件与数字智能相结合，在同一微芯片上实现线性化和温度补偿。该设备能够实现介质检测和非常低的液体流速(低至纳升/分钟)的精确测量，响应时间非常短，具有出色的重复性。液体介质通过PEEK或熔融二氧化硅(玻璃)通道完全隔离，因为半导体传感器芯片安装在流道外侧，并通过通道壁进行感知(美国Pat. 6813944)。最大的型号设计流速高达3毫升/分钟。响应时间在毫秒范围内便于监测和控制微流体系统的动态效果。新设备的小型化程度尤其令人印象深刻，最新的传感器技术将其重量降低到仅6克