显微镜和显微技术
原子力显微镜对先进的自动化HB-LED生产计量
2011年12月06
力量发起了维度EdgeTM PSS原子力显微镜(AFM),生产环境,
自动化的AFM专门针对图案蓝宝石衬底(PSS)在高亮度lightemitting计量
二极管(HB-LED)制造。维边缘PSS就是提供一个操作AFM
分辨率远远超出了传统的光学技术,同时提供精确的三维轮廓
最先进的PSS控制过程的信息。系统执行自动测量和
数据分析在2 - 6英寸晶圆生产计量应用程序,并提供大量的AFM
领导研发必不可少的功能。维边缘PSS具有力量的专属AutoMETTM软件
包,从而大大提高了制造业生产力通过完全自动化数据收集和AFM
分析为技术人员提供通过/失败输出操作。“不断增加的性能和驱动
成本要求,HB-LED制造商正在寻求PSS技术提供关键的过程改进,和维边缘PSS有助于控制这些先进的过程,”马克·r·蒙克博士说,总统的力量纳米表面。“维边缘PSS提供快速过程反馈的速度测量和无与伦比的精度和分辨率。”
”维度边缘PSS的释放,力量继续展示其优越的AFM的承诺为研究人员和生产环境性能和可用性,”大卫·v·罗西,副总裁和总经理的力量的AFM业务。“维边缘PSS带来可靠的AFM计量进入工业应用,使最高分辨率的测量,并提供简单的通过或失败测量标准操作易用性。”
维边缘PSS系统利用维边缘AFM的优势以及专有软件提供交钥匙的蓝宝石衬底制造生产计量解决方案。这些特性将允许技术人员操作水平和系统生产环境的理想选择。力量的自动化软件包是专门设计来满足生产需求HB-LED制造。软件可以很容易地配置为测量1到9之间在多个分晶片,晶片包括自动化的数据分析和报告,为工程师提供测量的细节和运营商的通过/失败的指标



